Influence of ICP etching on surface morphology of InP substrates

F. Karouta, E.J. Geluk, R.W. Heijden, van der, T.J. Eijkemans, A.Y. Silov, J.J.G.M. Tol, van der, M.K. Smit, H.W.M. Salemink

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Influence of ICP etching on surface morphology of InP substrates'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Material Science