Industrial application of atom probe tomography to semiconductor devices

A.D. Giddings, S. Koelling, Y. Shimizu, R. Estivill, K. Inoue, W. Vandervorst, W.K. Yeoh

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

18 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Industrial application of atom probe tomography to semiconductor devices'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Material Science