Incident ion energies spectra from an RF plasma in CF4

T.H.J. Bisschops, P.M. Vallinga, Daan Schram, F.J. de Hoog

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
TitelSASP, Symposium on Atomic and Surface Physics, '88 : contributions : La Plagne, France, January 17-23
RedacteurenA. Pesnelle
Plaats van productieGif-sur-Yvette
UitgeverijService de physique des atomes et des surfaces, CEN Saclay
Pagina's373-378
ISBN van geprinte versie2727201362
StatusGepubliceerd - 1988
Evenement1988 Symposium on Atomic and Surface Physics (SASP '88) - La Plagne, Frankrijk
Duur: 17 jan. 198823 jan. 1988

Congres

Congres1988 Symposium on Atomic and Surface Physics (SASP '88)
Land/RegioFrankrijk
StadLa Plagne
Periode17/01/8823/01/88

Citeer dit