In situ spectroscopic ellipsometry for atomic layer deposition

E. Langereis, S.B.S. Heil, H.C.M. Knoops, W. Keuning, M.C.M. Sanden, van de, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

549 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'In situ spectroscopic ellipsometry for atomic layer deposition'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie