In situ spectroscopic ellipsometry during amorphous carbon deposition

T.A.R. Hansen, J.W. Weber, M.C.M. Sanden, van de, R.A.H. Engeln

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

1 Citaat (Scopus)
Originele taal-2Engels
TitelPhysics@FOM Veldhoven, 19-20 January 2010, Veldhoven, The Netherlands
RedacteurenM. Graef, de, G. Zegers, E. Min, F. Pavert, van de
Plaats van productieUtrecht
UitgeverijStichting FOM
Pagina'sP05.66-204
StatusGepubliceerd - 2010

Citeer dit