In situ plasma and film growth studies during PECVD

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOtherAcademic

Originele taal-2Engels
StatusGepubliceerd - 2010
Evenementconference; Tokyo University; 2004-04-01; 2004-04-01 -
Duur: 1 apr 20041 apr 2004

Congres

Congresconference; Tokyo University; 2004-04-01; 2004-04-01
Periode1/04/041/04/04
AnderTokyo University

Citeer dit