| Originele taal-2 | Engels |
|---|---|
| Titel | International COE forum on plasma science and technology : April 5-7, 2004, Nagoya, Japan : technical session proceedings |
| Pagina's | 37-38 |
| Status | Gepubliceerd - 2004 |
In situ plasma and film growth studies during PECVD
Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic
1
Downloads
(Pure)