In situ plasma and film growth studies during PECVD

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOtherAcademic

Originele taal-2Engels
StatusGepubliceerd - 2004
EvenementAIST Institute, Tsukuba, Japan -
Duur: 3 apr. 20043 apr. 2004

Congres

CongresAIST Institute, Tsukuba, Japan
Periode3/04/043/04/04
AnderAIST Institute

Citeer dit