Identifying position-dependent mechanical systems: a physics-based LPV approach, with application to a wafer stage

Vertaalde titel van de bijdrage: Identificeren van positie-afhankelijke mechanische systemen: a natuurkunde gebaseerde LPV aanpak, met toepassing op een wafer positioneersysteem

R. de Rozario, R.J. Voorhoeve, W.H.T.M. Aangenent, T.A.E. Oomen

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

46 Downloads (Pure)

Samenvatting

Het identificeren van nauwkeurige LPV modellen van flexibele mechanische systemen is cruciaal voor het bepalen en het regelen van ongemeten prestatie variabelen in mechatronische precisie systemen. De selectie van een relevant set van schakelparameters, en het kiezen van de functionele afhankelijkheid van de toestand matrices van deze parameters, is een van de belangrijkste uitdagingen in LPV identificatie. In dit werk is een spaarzaam, niet-lineair-in-de-parameters, statisch LPV model van mechanische systemen afgeleid door middel van een rigoureus natuurkundige aanpak. Het verkregen inzicht motiveert een methode waarbij de toestand coëfficiënten worden geschat en vervolgens worden geïnterpoleerd door het toepassing van een meerstaps, lokale LTI identificatie aanpak, gebaseerd op frequentie responsie metingen. De ontworpen aanpak is met succes geïmplementeerd door het schatten van een positie-afhankelijk model van de Over-Actuated-Test rig, een prototype volgende generatie wafer positioneersysteem. Dit bevestigd dat de voorgestelde methode goed geschikt is voor praktische applicaties.
Vertaalde titel van de bijdrageIdentificeren van positie-afhankelijke mechanische systemen: a natuurkunde gebaseerde LPV aanpak, met toepassing op een wafer positioneersysteem
Originele taal-2Engels
StatusGepubliceerd - 28 sep 2016
Evenement25th European Research Network System Identification (ERNSI) Workshop, 25-28 September 2016, Cison di Valmarino, Italy - Cison di Valmarino, Cison di Valmarino, Italië
Duur: 25 sep 201628 sep 2016
http://automatica.dei.unipd.it/ERNSI2016/subpage-2.html

Workshop

Workshop25th European Research Network System Identification (ERNSI) Workshop, 25-28 September 2016, Cison di Valmarino, Italy
Verkorte titelERNSI2016
LandItalië
StadCison di Valmarino
Periode25/09/1628/09/16
Internet adres

Trefwoorden

  • linear parameter varying systems
  • identification
  • Mechanical systems
  • Modal analysis
  • Motion control

Citeer dit

de Rozario, R., Voorhoeve, R. J., Aangenent, W. H. T. M., & Oomen, T. A. E. (2016). Identifying position-dependent mechanical systems: a physics-based LPV approach, with application to a wafer stage. Postersessie gepresenteerd op 25th European Research Network System Identification (ERNSI) Workshop, 25-28 September 2016, Cison di Valmarino, Italy, Cison di Valmarino, Italië.