Identifying Position-Dependent Mechanical Systems: A Modal Approach Applied to a Flexible Wafer Stage

Robbert Voorhoeve (Corresponding author), Robin de Rozario, Wouter Aangenent, Tom Oomen

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

22 Citaten (Scopus)
359 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Identifying Position-Dependent Mechanical Systems: A Modal Approach Applied to a Flexible Wafer Stage'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Earth and Planetary Sciences