ICP etching of InP and its applications in photonic circuits

Y.C. Zhu, F. Karouta, E.J. Geluk, T. Vries, de, J.J.G.M. Tol, van der, M.K. Smit

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelIEEE/LEOS Benelux Annual Symposium 2003, Enschede, 20-21 Nov. 2003
Plaats van productiePiscataway
UitgeverijInstitute of Electrical and Electronics Engineers
Pagina's81-84
StatusGepubliceerd - 2003

Citeer dit