Hydrogen injection in ETP plasma jet for fast-deposition of high-quality a-Si:H

A.M.H.N. Petit, R.A.C.M.M. Swaaij, van, M.C.M. Sanden, van de

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
TitelAmorphous and Nanocrystalline Silicon Science and Technology
RedacteurenG. Ganguly
Pagina's359-364
StatusGepubliceerd - 2004
Evenement2004 Amorphous and Nanocrystalline Silicon-Based Films Symposium - San Francisco, Verenigde Staten van Amerika
Duur: 13 apr 200416 apr 2004

Publicatie series

NaamMaterials Research Society Symposium Proceedings
Volume808
ISSN van geprinte versie0272-9172

Congres

Congres2004 Amorphous and Nanocrystalline Silicon-Based Films Symposium
Land/RegioVerenigde Staten van Amerika
StadSan Francisco
Periode13/04/0416/04/04
AnderSymposium A: "Amorphous and Nanocrystalline Silicon-Based Films" ; (San Francisco, Calif.) : 2004.04.13-16

Citeer dit