History of atomic layer deposition and its relationship with the American Vacuum Society

G.N. Parsons, J.W. Elam, S.M. George, S. Haukka, H. Jeon, W.M.M. Kessels, M. Leskelä, P. Poodt, M. Ritala, S.M. Rossnagel

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

61 Citaten (Scopus)
975 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'History of atomic layer deposition and its relationship with the American Vacuum Society'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Chemische stoffen

Engineering en materiaalwetenschappen

Fysica en Astronomie