High-value MOS capacitor arrays in ultradeep trenches in silicon

F. Roozeboom, R. Elfrink, J. Verhoeven, J. Van den Meerakker, F. Holthuysen

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftCongresartikelpeer review

35 Citaten (Scopus)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'High-value MOS capacitor arrays in ultradeep trenches in silicon'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Biochemistry, Genetics and Molecular Biology