High resolution photoresist structuring of multi-layer structures deposited onto substrates

T. DAEUBLER (Uitvinder), A.H. Dietzel (Uitvinder), F. Voges (Uitvinder)

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

Originele taal-2Engels
OctrooinummerWO2002067054
StatusGepubliceerd - 29 aug. 2002

Citeer dit