Originele taal-2 | Engels |
---|---|
Octrooinummer | WO2002067054 |
Status | Gepubliceerd - 29 aug. 2002 |
High resolution photoresist structuring of multi-layer structures deposited onto substrates
T. DAEUBLER (Uitvinder), A.H. Dietzel (Uitvinder), F. Voges (Uitvinder)
Onderzoeksoutput: Octrooi › Octrooi-publicatie