High performance beyond-rigid-body control of next-generation Flexible Stages

T.A.E. Oomen, R.M.A. Herpen, van, O.H. Bosgra, M.M.J. Wal, van de

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic

1 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'High performance beyond-rigid-body control of next-generation Flexible Stages'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.