Global feedforward control of spatio-temporal mechanical systems: with application to a prototype wafer stage

Robin de Rozario, Robbert Voorhoeve, Wouter Aangenent, Tom Oomen

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftCongresartikelAcademicpeer review

2 Citaten (Scopus)
59 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Global feedforward control of spatio-temporal mechanical systems: with application to a prototype wafer stage'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering en materiaalwetenschappen