Formation of cationic silicon clusters in a remote silane plasma and their contribution to hydrogenated amorphous silicon film growth

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

71 Citaten (Scopus)
118 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Formation of cationic silicon clusters in a remote silane plasma and their contribution to hydrogenated amorphous silicon film growth'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie