Formation of cationic silicon clusters in a remote silane plasma and their contribution to hydrogenated amorphous silicon film growth

W.M.M. Kessels, C.M. Leewis, M.C.M. Sanden, van de, D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

71 Citaten (Scopus)
122 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Formation of cationic silicon clusters in a remote silane plasma and their contribution to hydrogenated amorphous silicon film growth'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie