Finite element and semi-analytic modeling of the temperature field of a wafer with moving heat loads

D.W.M. Veldman, R.H.B. Fey, H.J Zwart, M.M.J. van de Wal, J.D.B.J. van den Boom, H. Nijmeijer

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresAbstractAcademic

72 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
StatusGepubliceerd - 28 mrt 2017
Evenement36th Benelux Meeting on Systems and Control, 28-30 March 2017, Spa, Belgium - Sol-Cress, Spa, België
Duur: 28 mrt 201730 mrt 2017
http://www.beneluxmeeting.nl/2017/

Congres

Congres36th Benelux Meeting on Systems and Control, 28-30 March 2017, Spa, Belgium
LandBelgië
StadSpa
Periode28/03/1730/03/17
Internet adres

Citeer dit