Film microstructure control and characterization of plasma-deposited SiO2-like films

M.C.M. Sanden, van de

Plasma & Materials Processing

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congres › Other › Academic

Originele taal-2	Engels
Status	Gepubliceerd - 2008
Evenement	conference; ICTF-14; 2008-11-20; 2008-11-20 - Duur: 20 nov 2008 → 20 nov 2008

Congres

Congres	conference; ICTF-14; 2008-11-20; 2008-11-20
Periode	20/11/08 → 20/11/08
Ander	ICTF-14

Citeer dit