Film microstructure control and characterization of plasma-deposited SiO2-like films

M.C.M. Sanden, van de, N.M. Terlinden, G. Aresta, M. Creatore

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Samenvatting

No abstract
Originele taal-2Engels
TitelProceedings of ICTF14 & RSD2008 : Ghent, Belgium, 17-20 November 2008
RedacteurenR. De Gryse, D. Depla, D. Poelman, S. Mathieu, W.P. Leroy, H. Poelman
Pagina's141-141
StatusGepubliceerd - 2008
Evenementconference; International Conference on Thin Films (ICTF), Ghent Reactive Sputter Deposition Symposium (RSD); 2008-11-17; 2008-11-20 -
Duur: 17 nov 200820 nov 2008

Congres

Congresconference; International Conference on Thin Films (ICTF), Ghent Reactive Sputter Deposition Symposium (RSD); 2008-11-17; 2008-11-20
Periode17/11/0820/11/08
AnderInternational Conference on Thin Films (ICTF), Ghent Reactive Sputter Deposition Symposium (RSD)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Film microstructure control and characterization of plasma-deposited SiO2-like films'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit