Film microstructure control and characterization of plasma-deposited SiO2-like films

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOther

Originele taal-2Engels
StatusGepubliceerd - 2008
Evenementconference; ICTF-14; 2008-11-20; 2008-11-20 -
Duur: 20 nov 200820 nov 2008

Congres

Congresconference; ICTF-14; 2008-11-20; 2008-11-20
Periode20/11/0820/11/08
AnderICTF-14

Citeer dit