Fast deposition of amorphous layers

M.C.M. Sanden, van de, D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic

Originele taal-2Engels
TitelISPC 12 : 12th International Symposium on Plasma Physics, Minneapolis (MN), USA, 1995
Pagina's1920
StatusGepubliceerd - 1995

Citeer dit