Fast deposition of amorphous hydrogenated silicon layers

G.J. Meeusen, R.M.A. Driessens, M.C.M. Sanden, van de, D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

1 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
TitelProceedings 9th international colloquium on plasma processes, June 6-11, 1993, Antibes, Juan-les-Pins, France
Subtitelpapers
Plaats van productieParis
UitgeverijSociété Française du Vide
Pagina's99-101
StatusGepubliceerd - 1993

Publicatie series

NaamLe vide, les couches minces
NummerSuppl. 266
Volume49

Citeer dit