Fast deposition of a-C:H : increasing quality with increasing growth rate

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

52 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
TitelAVS, American Vacuum Society : 43rd national symposium, Philadelphia, October 14-18, 1996 : Abstracts
Pagina's167
StatusGepubliceerd - 1996

Citeer dit