Excellent Passivation of n‐Type Silicon Surfaces Enabled by Pulsed‐Flow Plasma‐Enhanced Chemical Vapor Deposition of Phosphorus Oxide Capped by Aluminum Oxide

Jimmy Melskens (Corresponding author), R.J. Theeuwes, Lachlan E. Black, Willem-Jan H. Berghuis, Bart Macco, P.C.P. Bronsveld, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

9 Citaten (Scopus)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Excellent Passivation of n‐Type Silicon Surfaces Enabled by Pulsed‐Flow Plasma‐Enhanced Chemical Vapor Deposition of Phosphorus Oxide Capped by Aluminum Oxide'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Material Science

Chemical Engineering