Etching of III-V semiconductors : an electrochemical approach

P.H.L. Notten, J.E.A.M. Meerakker, van de, J.J. Kelly

Onderzoeksoutput: Boek/rapportBoekAcademic

Originele taal-2Engels
Plaats van productieOxford
UitgeverijElsevier Advanced Technology
Aantal pagina's349
ISBN van geprinte versie0-946395-84-5
StatusGepubliceerd - 1991

Citeer dit

Notten, P. H. L., Meerakker, van de, J. E. A. M., & Kelly, J. J. (1991). Etching of III-V semiconductors : an electrochemical approach. Elsevier Advanced Technology.