Emission spectroscopy on a supersonically expanding argon/silane plasma

G.J. Meeusen, E.A. Ershov-Pavlov, R.F.G. Meulenbroeks, M.C.M. van de Sanden , D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

64 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
TitelISPC ... : international symposium on plasma chemistry, 10th, Bochum, August 4-9, 1991
RedacteurenU. Ehlemann, H.G. Lergon, K. Wiesemann
Plaats van producties.l.
UitgeverijInternational Union of Pure and Applied Chemistry
Aantal pagina's6
Volume1
StatusGepubliceerd - 1991
Evenement10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 10), August 4-9, 1991, Bochum, Germany - Bochum, Duitsland
Duur: 4 aug 19919 aug 1991

Andere

Andere10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 10), August 4-9, 1991, Bochum, Germany
Verkorte titelISPC 10
Land/RegioDuitsland
StadBochum
Periode4/08/919/08/91

Citeer dit