Effective passivation of silicon surfaces by ultrathin atomic-layer deposited niobium oxide

B. Macco, M. Bivour, J.H. Deijkers, S.B. Basuvalingam, L.E. Black, J. Melskens, B.W.H. van de Loo, W.J.H. Berghuis, M. Hermle, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

7 Citaten (Scopus)
71 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Effective passivation of silicon surfaces by ultrathin atomic-layer deposited niobium oxide'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie