Dynamics of ion assisted etching on a time scale 100 mus-1000 s

G.J.P. Joosten, Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Technische Natuurkunde

    Onderzoeksoutput: ScriptieEngD Thesis

    Originele taal-2Engels
    KwalificatieDoctor in de Filosofie
    Toekennende instantie
    Begeleider(s)/adviseur
    • Beijerinck, Herman, Begeleider
    Datum van toekenning1 jan. 1993
    Plaats van publicatieEindhoven
    Uitgever
    Gedrukte ISBN's90-5282-240-9
    StatusGepubliceerd - 1993

    Bibliografische nota

    Eindverslag.

    Citeer dit