Dynamics of ion-assisted etching

P.G.M. Sebel

    Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

    438 Downloads (Pure)
    Originele taal-2Engels
    KwalificatieDoctor in de Filosofie
    Toekennende instantie
    • Applied Physics
    Begeleider(s)/adviseur
    • Beijerinck, Herman, Promotor
    • Hermans, Lodewijk J.F., Promotor, Externe Persoon
    Datum van toekenning13 dec 1999
    Plaats van publicatieEindhoven
    Uitgever
    Gedrukte ISBN's90-386-0927-2
    DOI's
    StatusGepubliceerd - 1999

    Citeer dit