Dopant distribution in atomic layer deposited ZnO:Al films visualized by transmission electron microscopy and atom probe tomography

Y. Wu, A. Devin Giddings, M.A. Verheijen, B. Macco, T.J. Prosa, D.J. Larson, F. Roozeboom, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review

33 Citaten (Scopus)
214 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Dopant distribution in atomic layer deposited ZnO:Al films visualized by transmission electron microscopy and atom probe tomography'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Material Science

Chemistry

Agricultural and Biological Sciences

Chemical Engineering