Directional repetitive control of a metrological AFM

M.J.C. Ronde, R.J.E. Merry, M.J.G. Molengraft, van de, M. Steinbuch, K.R. Koops, M.G.A. Veghel, van

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Samenvatting

abstract only
Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the 28th Benelux Meeting on Systems and Control, March 16-18, 2009, Spa, Belgium
Plaats van productieSpa, Belgium
UitgeverijUniversité de Liège
Pagina's148-
StatusGepubliceerd - 2009

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Directional repetitive control of a metrological AFM'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit