Diagnostics needs for understanding plasma assisted deposition

D.C. Schram, M.G.H. Boogaarts, G.J. Brinkman, H.F. Döbele, J.W.A.M. Gielen, W.M.M. Kessels, S. Mazouffre, J.J.A.M. Mullen, van der, M.C.M. Sanden, van de, R.J. Severens

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

54 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
TitelFrontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics II : papers
Plaats van productieBad Honnef, Germany
UitgeverijArbeitsgemeinschaft Plasmaphysik
Pagina's65-76
StatusGepubliceerd - 1997
Evenementconference; Frontiers in Low Temperature Plamsa Diagnostics II, Bad Honnef, Duitsland, 17-21 februari 1997; 1997-02-17; 1997-02-21 -
Duur: 17 feb. 199721 feb. 1997

Congres

Congresconference; Frontiers in Low Temperature Plamsa Diagnostics II, Bad Honnef, Duitsland, 17-21 februari 1997; 1997-02-17; 1997-02-21
Periode17/02/9721/02/97
AnderFrontiers in Low Temperature Plamsa Diagnostics II, Bad Honnef, Duitsland, 17-21 februari 1997

Citeer dit