Device and method for generating a plasma discharge for patterning the surface of a substrate

P.M. Blom (Uitvinder), A.A.E. Stevens (Uitvinder), Laura Huijbregts (Uitvinder), H.A.M. De Haan (Uitvinder), A.H. Van Schijndel (Uitvinder), E Te Sligte (Uitvinder), C.J. Van Hijningen (Uitvinder), T. Huiskamp (Uitvinder)

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

1 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Device and method for generating a plasma discharge for patterning the surface of a substrate'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie