Determining an optimal ion energy for plasma processing of a dielectric substrate

Qihao Yu (Uitvinder), Erik Lemmen (Uitvinder), Bas J.D. Vermulst (Uitvinder)

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

13 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Determining an optimal ion energy for plasma processing of a dielectric substrate'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie