Design of an active wafer clamp for wafer machines

M.M.A. Steur

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

4354 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Mechanical Engineering
Begeleider(s)/adviseur
  • Steinbuch, Maarten, Promotor
  • Rosielle, P.C.J.N., Co-Promotor
Datum van toekenning8 nov. 2017
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-4360-1
StatusGepubliceerd - 8 nov. 2017

Bibliografische nota

Proefschrift

Citeer dit