Design of a multi-process multi-product wafer fab

E.J.J. Campen, van

    Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 2 (Onderzoek NIET TU/e / Promotie TU/e)

    1559 Downloads (Pure)
    Originele taal-2Engels
    KwalificatieDoctor in de Filosofie
    Toekennende instantie
    • Mechanical Engineering
    Begeleider(s)/adviseur
    • Rooda, Koos, Promotor
    • Aarts, Emile H.L., Promotor
    • Etman, L.F.P. (Pascal), Co-Promotor
    Datum van toekenning24 apr 2001
    Plaats van publicatieEindhoven
    Uitgever
    Gedrukte ISBN's90-386-2752-1
    DOI's
    StatusGepubliceerd - 2001

    Citeer dit