Design and construction of an in-line reactor for the laser-induced chemical vapour deposition of TiN

J.J. Pisters; Y.H. Croonen; Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Scheikundige Technologie

Design and construction of an in-line reactor for the laser-induced chemical vapour deposition of TiN

J.J. Pisters
, Y.H. Croonen
, Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Scheikundige Technologie

Onderzoeksoutput: Scriptie › EngD Thesis

Originele taal-2	Engels
Kwalificatie	Doctor in de Filosofie
Toekennende instantie
Datum van toekenning	1 jan. 1995
Plaats van publicatie	Eindhoven
Uitgever	Technische Universiteit Eindhoven
Status	Gepubliceerd - 1995

Bibliografische nota

Eindverslag.

Citeer dit

@phdthesis{63d3e58b7fb9423a9d712ab2c527dc18,

title = "Design and construction of an in-line reactor for the laser-induced chemical vapour deposition of TiN",

author = "J.J. Pisters and Y.H. Croonen and \{Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Scheikundige Technologie\}",

note = "Eindverslag.",

year = "1995",

language = "English",

publisher = "Technische Universiteit Eindhoven",

type = "EngD Thesis",

}

TY - THES

T1 - Design and construction of an in-line reactor for the laser-induced chemical vapour deposition of TiN

AU - Pisters, J.J.

AU - Croonen, Y.H.

AU - Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Scheikundige Technologie

N1 - Eindverslag.

PY - 1995

Y1 - 1995

M3 - EngD Thesis

PB - Technische Universiteit Eindhoven

CY - Eindhoven

ER -