Vingerafdruk
Duik in de onderzoeksthema's van 'Deposition of TiN and TaN by remote plasma ALD for diffusion barrier applications'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.- Sorteer per
- Gewicht
- Alfabetische volgorde
Deposition of TiN and TaN by remote plasma ALD for diffusion barrier applications
H.C.M. Knoops, L. Baggetto, E. Langereis, M.C.M. Sanden, van de, J.H. Klootwijk, F. Roozeboom, R.A.H. Niessen, P.H.L. Notten, W.M.M. Kessels
Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic › peer review
4
Citaten
(Scopus)