Deposition of hard amorphous hydrogenated carbon films from hyperthermal hydrocarbon radicals, studied by in situ real time infrared spectroscopy

A. von Keudell, K.Y. Letourneur, M.C.M. van de Sanden

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresAbstractAcademic

Originele taal-2Engels
Pagina'sTF+EL-WeA8
Aantal pagina's1
StatusGepubliceerd - 2000
Evenement47th International Symposium of the American Vacuum Society (AVS47) - Boston, Verenigde Staten van Amerika
Duur: 2 okt 20006 okt 2000

Congres

Congres47th International Symposium of the American Vacuum Society (AVS47)
Verkorte titelAVS47
Land/RegioVerenigde Staten van Amerika
StadBoston
Periode2/10/006/10/00

Citeer dit