CoZrNb amorphous thin films deposited by r.f. diode and d.c. triode sputtering: a comparative study

F. Machizaud, G. Suran, M. Rivoire, F.W.A. Dirne

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'CoZrNb amorphous thin films deposited by r.f. diode and d.c. triode sputtering: a comparative study'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Material Science

Engineering