Controlling the fixed charge and passivation properties of Si(100)Al2O3 interfaces using ultrathin SiO2 interlayers synthesized by atomic layer deposition

G. Dingemans, N.M. Terlinden, M.A. Verheijen, M.C.M. Sanden, van de, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review

159 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Controlling the fixed charge and passivation properties of Si(100)Al2O3 interfaces using ultrathin SiO2 interlayers synthesized by atomic layer deposition'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering