Control of the critical dimension with a trilayer nanoimprint lithography procedure

A. Lebib, M. Natali, S.P. Li, E. Cambril, L. Manin, Y. Chen, H.M. Janssen, R.P. Sijbesma

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

17 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Control of the critical dimension with a trilayer nanoimprint lithography procedure'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Material Science