Connecting system identification and robust control for next-generation motion control of a wafer stage

T.A.E. Oomen, R.M.A. Herpen, van, S.J. Quist, M.M.J. Wal, van de, O.H. Bosgra, M. Steinbuch

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

113 Citaten (Scopus)
16 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Connecting system identification and robust control for next-generation motion control of a wafer stage'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering en materiaalwetenschappen