Vingerafdruk
Duik in de onderzoeksthema's van 'Connecting system identification and robust control for next-generation motion control of a wafer stage'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.- Sorteer per
- Gewicht
- Alfabetische volgorde
Connecting system identification and robust control for next-generation motion control of a wafer stage
T.A.E. Oomen, R.M.A. Herpen, van, S.J. Quist, M.M.J. Wal, van de, O.H. Bosgra, M. Steinbuch
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
113
Citaten
(Scopus)
16
Downloads
(Pure)