Conformality and the role of ions during plasma-assisted atomic layer deposition

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

1 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Applied Physics
Begeleider(s)/adviseur
  • Kessels, W.M.M. (Erwin), Promotor
  • Knoops, Harm C.M. , Co-Promotor
Datum van toekenning15 sep 2021
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-5341-9
StatusGepubliceerd - 15 sep 2021

Bibliografische nota

Proefschrift.

Citeer dit