Complex pupil function reconstruction at high NA using the extended Nijboer-Zernike diffraction theory

Joseph Braat, Peter Dirksen, Augustus J.E.M. Janssen, Arthur S. van de Nes

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic › peer review

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Complex pupil function reconstruction at high NA using the extended Nijboer-Zernike diffraction theory'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering