Comparison of thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium oxide thin films

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

9 Citaten (Scopus)
139 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Comparison of thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium oxide thin films'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Chemische stoffen

Engineering en materiaalwetenschappen

Fysica en Astronomie