Cogging compensating piecewise iterative learning control for variable setpoints with application to a wafer stage

K. Berkel, van

Onderzoeksoutput: Boek/rapportRapportPopulair

114 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
Plaats van productieEindhoven
UitgeverijTechnische Universiteit Eindhoven
Aantal pagina's11
StatusGepubliceerd - 2006

Publicatie series

NaamDCT rapporten
Volume2006.131

Bibliografische nota

DCT 2006.131

Citeer dit